PMUT - PMUT

Piezoelektrik Mikro İşlenmiş Ultrasonik Dönüştürücüler (PMUT) MEMS tabanlı piezoelektrik ultrasonik dönüştürücüler. Bir plakanın kalınlık modu hareketini kullanan toplu piezoelektrik dönüştürücülerden farklı olarak piezoelektrik seramik gibi PZT veya tek kristal PMN-PT PMUT, ince bir piezoelektrik film ile birleştirilmiş ince bir zarın eğilme hareketine dayanmaktadır. PVDF.[1][2][3][4][5] Toplu piezoelektrik ultrason dönüştürücüler ile karşılaştırıldığında, PMUT, daha yüksek Bant genişliği, esnek geometriler, doğal akustik empedans su ile eşleşir, düşük voltaj gereksinimleri, farklı karışım rezonans frekansları ve özellikle minyatürleştirilmiş yüksek frekans uygulamaları için destekleyen elektronik devrelerle entegrasyon potansiyeli.

Referanslar

  1. ^ Trolier-McKinstry, Susan; P. Muralt (Ocak 2004). "MEMS için İnce Film Piezoelektrik". Elektroseramik Dergisi. 12 (1–2): 7. doi:10.1023 / B: JECR.0000033998.72845.51.
  2. ^ Hajati, Arman; et al. (2012). "Üç boyutlu mikro elektromekanik sistem piezoelektrik ultrason dönüştürücü". Uygulamalı Fizik Mektupları. 101 (25): 253101. doi:10.1063/1.4772469.
  3. ^ Muralt, Paul (Aralık 2005). "PZT ince filmlere dayanan piezoelektrik mikro işlenmiş ultrasonik dönüştürücüler". IEEE Trans Ultrasonik, Ferroelektrikler. 52 (12): 2276. doi:10.1109 / TUFFC.2005.1563270.
  4. ^ Qiu, Yongqiang; et al. (2015). "Entegre Algılama, Çalıştırma ve Görüntüleme için Piezoelektrik Mikro İşlenmiş Ultrason Dönüştürücü (PMUT) Dizileri". Sensörler. 15 (4): 8020–41. doi:10.3390 / s150408020. PMC  4431219. PMID  25855038.
  5. ^ Brown, Lewis (Kasım 2000). "Piezoelektrik Polimer Ultrason Dönüştürücüsü için Tasarım Hususları". IEEE Trans Ultrasonik, Ferroelektrikler. 47 (6): 1377–1396. doi:10.1109/58.883527. PMID  18238684.